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小型洁净工作舱，包括：控制柜(33)、回风柱(34)、送风单元(36)、以及空气循环系统；控制柜(33)和回风柱(34)安在第二入口处的外部，位于第一和第二入口之间；送风单元(36)位于洁净舱顶部；空气循环系统包括风冷式外机(1)、初效过滤...该专利属于中科中涵激光设备（福建）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科中涵激光设备（福建）股份有限公司授权不得商用。
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