温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种精密工作台，公开了一种一维微动平台的运动机构，包括：呈平面分布的铰链机构和驱动铰链机构的压电驱动器，根据本发明，上述的铰链机构为四个双平行多杆柔性机构A，B，C，D；其中，两个双平行多杆柔性机构A，B相互平行，它们两端的垂直铰...
该专利属于上海航天测控通信研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海航天测控通信研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。