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本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，包括：涡流传感器，用于测量坩埚内部的固液界面，得到关于固液界面高度的电信号；信号处理机，与涡流传感器电连接，用于通过电信号得出固液界面的高度值。应用本实用新型的技术方案，通过设置涡流传感器，...
该专利属于田志恒; 田立; 田陆所有，仅供学习研究参考，未经过田志恒; 田立; 田陆授权不得商用。

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