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本发明描述一种用于微机电MEMS惯性传感器的高性能接口电路。根据一个方面，使用激励信号(用于检测电容变化)来控制致动信号位流的值以允许使致动及检测路径两者的动态范围最大化且防止由于与所述激励信号混合而使所述致动位流的高频分量折叠。在另一方面...
该专利属于硅制品系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅制品系统有限公司授权不得商用。

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