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微电子机械微波频率和功率检测系统及其检测方法，检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，微波检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、功合器以及四个结构完全相...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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