下载一种氧化镉基透光波段可调的导电薄膜制备方法的技术资料

文档序号:8715437

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种氧化镉(CdO)基透光波段可调的导电薄膜制备方法。该方法的核心技术是导电薄膜的透光波段与导电薄膜中铟(In)组分的含量相关,In组分含量的变化与磁控溅射靶材、溅射功率,与靶材和基片之间的距离相关,导电薄膜厚度与薄膜沉积时间长...
该专利属于淮阴师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过淮阴师范学院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。