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微观特征中的种子层沉积制造技术
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文档序号:8713963
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一种用于在工件的大致平坦表面内制造的微观孔特征的内表面进行电镀的方法及系统。该方法包括设置工件以具有屏障金属镀层,其大致在工件的平坦表面以及微观孔特征的内表面连续并均匀,其中通过大致表面反应限制处理来涂布屏障金属镀层。设置工件以在工件的平坦...
该专利属于东京毅力科创尼克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创尼克斯公司授权不得商用。
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