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本发明涉及真空领域的真空泵,具体地说是一种磁力驱动螺杆真空泵,包括腔体、主动转子、从动转子、传动齿轮组、内磁转子、外磁转子、隔离套及电机,其中主动转子及从动转子均容置在腔体内,主动转子轴及从动转子轴通过传动齿轮组连接,主动转子轴上设有内磁转...该专利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司授权不得商用。
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本发明涉及真空领域的真空泵,具体地说是一种磁力驱动螺杆真空泵,包括腔体、主动转子、从动转子、传动齿轮组、内磁转子、外磁转子、隔离套及电机,其中主动转子及从动转子均容置在腔体内,主动转子轴及从动转子轴通过传动齿轮组连接,主动转子轴上设有内磁转...