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一种夹爪机构,包括机架、左爪部和右爪部,其特征在于:左爪部具有左爪座,左爪座上固定左爪,左爪座与机架沿X轴滑动连接,左爪座上设有左爪滑块;右爪部具有右爪座,右爪座上固定右爪,右爪座与机架沿X轴滑动连接,右爪座上设有右爪滑块;还包括一直线驱动...该专利属于苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司授权不得商用。
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一种夹爪机构,包括机架、左爪部和右爪部,其特征在于:左爪部具有左爪座,左爪座上固定左爪,左爪座与机架沿X轴滑动连接,左爪座上设有左爪滑块;右爪部具有右爪座,右爪座上固定右爪,右爪座与机架沿X轴滑动连接,右爪座上设有右爪滑块;还包括一直线驱动...