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一种多晶硅的制备方法,包括如下步骤:硅液在抬包中吹气、NaCl、KCl与SiO2造渣剂、等离子体相结合精炼除硼杂质,其中,氧化性气体电离成等离子气体从抬包底部通入硅液中,持续通入等离子气体1~3h,在抬包内进行反应;反应完成之后经过处理得到...
该专利属于福建兴朝阳硅材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建兴朝阳硅材料股份有限公司授权不得商用。

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