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传感器元件、力检测装置以及机器人制造方法及图纸
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文档序号:8703127
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本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机器人。在设为α轴、与上述α轴正交的β轴以及与上述α轴与上述β轴正交的γ轴作为空间坐标轴情况下,传感器元件是将压电基板和电极在上述γ轴方向上层叠而形成的,传感器元件具备连接部,连接部被配置成上述电极的外沿...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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