下载用于检测样本中的分析物的半导体器件和系统的技术资料

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本公开的实施例提供了一种用于检测样本中的分析物的半导体器件和系统。该半导体器件包括传感器,该传感器包括:感测区域,形成于半导体衬底之上,所述感测区域包括配置成检测在所述感测区域与所述分析物之间的相互作用的换能器;在所述感测区域下面的集成热能...
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