温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种低熔点金属气动化学预处理提纯装置,包括预处理瓶,所述预处理瓶设于保温槽中,预处理瓶进气管端设有空气过滤器,预处理瓶出气管端设有水喷射真空泵。本实用新型提高了预处理效率,处理2次可将金属杂质降低至1ppm以下;预处理瓶内产生气体酸碱雾通过...该专利属于南京隆润半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京隆润半导体材料有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种低熔点金属气动化学预处理提纯装置,包括预处理瓶,所述预处理瓶设于保温槽中,预处理瓶进气管端设有空气过滤器,预处理瓶出气管端设有水喷射真空泵。本实用新型提高了预处理效率,处理2次可将金属杂质降低至1ppm以下;预处理瓶内产生气体酸碱雾通过...