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本实用新型公开了属于金属靶材与背板组件的连接结构技术领域的一种靶材与背板的连接结构。背板上具有圆柱状凹槽，靶材沿厚度方向部分嵌入背板内部，凹槽直径与嵌入背板内部的靶材外径相配合，凹槽侧面与靶材之间为真空电子束封焊连接，凹槽底面与靶材之间为扩...该专利属于北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司授权不得商用。