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用于在直接写入机中图案化工件的对准方法，其中设置有板基准特征的基准板用于针对公共基准来协调测量站和写入站的校准。经调整的图案用于写在工件上，其相对于基准板的位置而被计算。...
该专利属于密克罗尼克麦达塔公司所有，仅供学习研究参考，未经过密克罗尼克麦达塔公司授权不得商用。

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