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正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法和电子部件技术
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文档序号:8687834
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本发明的正型感光性树脂组合物含有:具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。...
该专利属于日立化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成株式会社授权不得商用。
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