温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种太阳能电池的制造装置、太阳能电池及其制造方法，降低异质结太阳能电池的制造成本。太阳能电池的制造装置具备：基板保持架，以使基板的第1主面以及第2主面这两者露出的方式平面地保持多个所述基板；前成膜室，在所述基板保持架被搬入到阳极电极侧时...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。