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本发明公开了一种电容弗里希栅CdZnTe探测器的制备工艺，包括(1)CdZnTe晶体的表面处理、(2)化学腐蚀、(3)电极制备、(4)表面钝化、(5)清洗、(6)封装等工艺步骤。该发明提供了一种工艺简单、实用，制备出分辨率高的电容弗里希栅C...
该专利属于中国原子能科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。

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