下载沟槽型绝缘栅双极型晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:8684204

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本发明提供一种沟槽型绝缘栅双极型晶体管(InsulatedGateBipolarTransistor,IGBT)及其制备方法,属于IGBT技术领域。该沟槽型IGBT包括集电极层、漂移层、发射极层、沟槽、以及形成于沟槽的栅介质层和栅电极,该沟...
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