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一种底栅结构的低压ZnO透明薄膜晶体管的制备工艺，包括：清洁衬底步骤；制备栅极步骤；制备绝缘层步骤；ZnO:Al沟道层的沉积步骤；源、漏极的制备步骤。上述制备绝缘层步骤、ZnO:Al沟道层的沉积步骤以及源、漏极的制备步骤均在室温下进行。...
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