温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极，在具有多个狭缝电极的离子源中，引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源（1）具有多个狭缝电极（7）～（10）作为引出电极系统。狭缝电极（7）～（10）包括具有开口部（15）的电极框体（14）、以...
该专利属于日新离子机器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日新离子机器株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。