下载一种多孔纳米压印模板及其制备方法的技术资料

文档序号:8681860

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本发明公开了一种孔洞纳米压印模板的制备方法,包括:制备表面镀有铝膜的衬底;对衬底进行阳极氧化和扩孔,氧化时间为阳极氧化开始到衬底表面开始变色所需时长;对样片进行ICP刻蚀,再去除掩膜材料后即得纳米压印模板;ICP刻蚀分为三步完成:(1)无掩...
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