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本发明公开了一种探针和引脚自动对准的方法，通过六个步骤实现了测试探针和引脚的自动对准。本发明还公开了一种探针和引脚自动对准的探针台测试系统，包括可移动的探针位移装置、安装在探针位移装置上的探针架和探针、可移动的且用于固定待测器件及晶圆的夹具...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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