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陀螺传感器、电子设备以及陀螺传感器的制造方法技术
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文档序号:8680738
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本发明涉及陀螺传感器、电子设备以及陀螺传感器的制造方法。所述陀螺传感器具有良好的灵敏度特性及频带特性。本发明涉及的陀螺传感器(100)包括:驱动部(110),其具备与驱动用弹簧部(114)相连接的驱动用支承部(112);检测部(120),其...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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