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一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构制造方法及图纸
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文档序号:8678310
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本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,包括缓冲箱与抽风管,缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,密封门上设有导流结构,缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口;该抽风管为U形管,抽风管一端设置进风口,抽风管另一端设...
该专利属于陈功所有,仅供学习研究参考,未经过陈功授权不得商用。
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