下载一种磷扩散炉的三氯氧磷排除方法的技术资料

文档序号:8678309

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本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除方法,包括如下步骤:首先,磷扩散炉排出的三氯氧磷气体进入缓冲箱内与进入缓冲箱内的自然风混合冷却;其次,冷却后的三氯氧磷气体被抽入抽风管并在抽风管内被喷淋的氨水中和液化落入抽风管底部的密封水箱;最后,液化...
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