下载硅晶铸锭及其制造方法的技术资料

文档序号:8678298

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本发明公开了一种硅晶铸锭及其制造方法,通过控制热场参数、成核点密布坩埚底部等方法,来大量降低大尺寸硅晶粒分布比例,本发明硅晶铸锭底部处的硅晶粒的平均晶粒尺寸小于12mm,且硅晶铸锭上区域的硅晶粒的平均晶粒尺寸大于14mm,由于小尺寸硅晶粒型...
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