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本发明涉及一种采用超快激光在靶材表面制备纳米栅格的方法，该方法包括将靶材固定在样品台上；半透半反镜a将入射超快激光分为光路a与光路b；光路a经半透半反镜b反射被分为光路a1与a2后，分别聚焦至靶材表面的A部分与B部分；光路b经半透半反镜b被...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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