下载准分子紫外辐射与等离子体耦合一体化降解废气的方法与装置的技术资料

文档序号:8673968

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本发明公开了一种准分子紫外辐射与等离子体耦合一体化降解废气的方法与装置,所用反应器包括四层石英介质层,分别为由内向外依次设置的第一石英管、第二石英管、第三石英管和第四石英管,内电极设置在第一石英管内,外电极设置在第三石英管外侧面;第一石英管...
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