下载激光刻版装置的技术资料

文档序号:866669

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一种激光刻版装置,包括一激光光源、一光圈、一光学构件以及一承载元件;其中光圈具有一非圆形开口,以便激光光源发出的激光光束经过光圈的非圆形开口后,形成非圆柱状的激光光束射至光学构件,光学构件将非圆柱状的激光光束以非圆点聚焦于承载元件所承载的一...
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