下载一种工艺腔室排风系统的技术资料

文档序号:8662758

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本实用新型提供一种工艺腔室排风系统,该排风系统包括,至少一套排风单元、主排风管道和控制器;所述排风单元包括工艺腔室、排风支管、调节阀、电机和差压计;所述调节阀安装在排风支管内;所述控制器与差压计、电机相连接,电机与调节阀相连接;排风支管的入...
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