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X射线波导制造技术
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文档序号:8659794
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一种X射线波导包括:芯部(101),用于引导具有在其中材料的折射率实部小于1的波长带的X射线;以及覆层(102,103),用于将X射线限制在芯部中。芯部具有一维的周期性结构,在所述周期性结构中周期性地层叠分别由具有不同折射率实部的无机材料形...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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