下载一种复合微孔聚合物电解质及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:8656906

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本发明涉及一种复合微孔聚合物电解质的制备方法,其特征在于:将微孔聚合物膜置于原子层沉积设备的反应腔,用高纯氮清洗反应腔;在低真空并加热到反应温度,在一定载气流量条件下将前躯体通入反应腔完成一次脉冲,用高纯氮气清洗,然后通入氨气使前躯体发生反...
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