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本发明公开了一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法，本设备由晶圆工作台、分选工作台、运输传送系统、晶圆工作台推送装置、分选工作台推送装置、摆臂机构、芯片分选料库，上述七个主要部分组成。本发明改善了现有技术中的传统布局与机械结构，在机体平...
该专利属于广东志成华科光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东志成华科光电设备有限公司授权不得商用。

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