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一种多芯片烧结用石墨模具制造技术
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下载一种多芯片烧结用石墨模具的技术资料
文档序号:8656684
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本发明公开了一种多芯片烧结用石墨模具,包括石墨底板(1)和石墨组装条(2),所述石墨组装条(2)的侧部设有开口的烧结槽(3),所述的烧结槽(3)包括烧结腔(4)、位于烧结腔(4)的上侧和下侧并通过烧结腔(4)连通的上烧结槽(5)和下烧结槽(...
该专利属于宜兴市环洲微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜兴市环洲微电子有限公司授权不得商用。
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