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本发明公开一种电子束加工设备的磁聚焦装置及其控制方法，其磁聚焦装置有两组独立的绕组，其中A绕组为主绕组，匝数较多，通入可调的直流电，其供电电源采用比例-积分调节方式且具有对磁路进行退磁功能，使得励磁工作电流与磁感应强度单值对应关系，保证电子...
该专利属于桂林狮达机电技术工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过桂林狮达机电技术工程有限公司授权不得商用。

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