下载一种场发射阴极的处理方法的技术资料

文档序号:8656638

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种InGaAlN纳米线场发射阴极的制备方法,包括:先通过CVD的方法在沉积了一层Au的Si衬底上生长InGaAlN样品;把盛有Si衬底和高纯金属Ga、Al和In的钨舟放入管式炉内的石英管中;随后,用机械泵对石英管抽气,把石英管的...
该专利属于青岛红星化工厂所有,仅供学习研究参考,未经过青岛红星化工厂授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。