下载一种激光干涉仪光程差定位方法及系统的技术资料

文档序号:8654867

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本发明公开了一种结构简单、紧凑的光路折叠激光干涉仪系统,用于傅里叶变换光谱仪动镜、定镜两路光程差精确定位。通过采用空间上布局紧凑的角锥回射器和反射镜组合,激光干涉仪的动臂光路被折叠4次,干涉仪产生的干涉图样周期缩短4倍。通过过零点检测电路的...
该专利属于李剑平所有,仅供学习研究参考,未经过李剑平授权不得商用。

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