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本发明揭示了一种探测系统，用于探测晶元的表面形貌，包括：激光发射系统，用于发出激光；分束合光系统，所述激光被所述分束合光系统分为第一光波和与之相干的第二光波，所述第一光波经所述晶圆反射后与所述第二光波被所述分束合光系统合成为合光；相移系统，...
该专利属于杭州士兰明芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰明芯科技有限公司授权不得商用。

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