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本发明涉及位移检测装置，该位移检测装置（1）包括：光源（2）、光束分离部（3）、衍射光栅（4）、反射部（6）、光束结合部（3）、光接收部（8）以及相对位置信息输出部（10）。衍射光栅（4）用于衍射由待测构件（9）的待测表面反射的第一光束（L...
该专利属于株式会社森精机制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社森精机制作所授权不得商用。

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