专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
英利集团有限公司
>
一种生产单晶硅的熔料工艺制造技术
>技术资料下载
下载一种生产单晶硅的熔料工艺的技术资料
文档序号:8653459
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种熔料工艺,包括以下步骤:调节氩气流量为70L/min-100L/min,加热器功率在0KW-80KW内上升,石英坩埚的转速为0.5rpm/min-1rpm/min;保持功率为77KW-83KW,至原料硅发生塌料;将功率降至67...
该专利属于英利集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利集团有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。