下载一种生产单晶硅的熔料工艺的技术资料

文档序号:8653459

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本发明提供一种熔料工艺,包括以下步骤:调节氩气流量为70L/min-100L/min,加热器功率在0KW-80KW内上升,石英坩埚的转速为0.5rpm/min-1rpm/min;保持功率为77KW-83KW,至原料硅发生塌料;将功率降至67...
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