下载多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片的技术资料

文档序号:8653446

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本发明提供了多晶硅锭的制备方法,该制备方法包括:(1)在坩埚底部铺设微晶形核层,微晶形核层为微晶硅、无定形硅、微晶硅化物材料和无定形硅化物材料中的一种或几种;微晶形核层的厚度为第一高度值;(2)在微晶形核层上方填装硅料,加热使硅料熔化,待硅...
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