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水平温度梯度法生长大尺寸高温晶体的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:8653445
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本发明公开了一种水平温度梯度法生长大尺寸高温晶体的装置及方法,其主要在四周保温筒的左端部及右端部设有左右保温罩,在四周保温筒的内部中心位置设有坩埚,在坩埚托座的底端部固定有坩埚托杆,在左保温罩上设有左生长梯度提供发热体,在右保温罩上设有右生...
该专利属于元亮科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过元亮科技有限公司授权不得商用。
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