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本发明公开了一种氧化镉镁合金透明导电薄膜，该薄膜采用磁控溅射技术，设计合理的溅射参数制备而成。磁控溅射的靶材为氧化镉和氧化镁，薄膜中镁的原子数百分比组分含量值x为：0≤x＜0.5；薄膜厚度为：170—290nm。本发明研究认为，增大薄膜中镁...
该专利属于淮阴师范学院所有，仅供学习研究参考，未经过淮阴师范学院授权不得商用。

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