下载一种定向凝固去除多晶硅中金属杂质的方法以及装置的技术资料

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一种定向凝固去除多晶硅中金属杂质的方法,包括如下步骤:(1)原料硅在石墨坩埚中熔化,将硅液倒入定向凝固装置中,盖上保温板,并保持上部温度在1450~1500°C;(2)硅液的表面上放置石墨板,石墨板与外界直流电压的负极相接,定向凝固装置底部...
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