下载一种多晶硅除硼的方法的技术资料

文档序号:8651770

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本发明涉及一种多晶硅除硼的新方法,该方法包括以下步骤:将硅块装入中频感应炉石墨坩埚中加热,并熔化成硅液;向硅液中投入造渣剂,继续加热使造渣剂完全熔化,并保持硅液温度;所述造渣剂由NaCl、KCl与SiO2组成;将带有通气孔道的石墨棒预热,待...
该专利属于福建兴朝阳硅材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建兴朝阳硅材料股份有限公司授权不得商用。

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