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一种正型感光性硅氧烷组合物，其含有聚硅氧烷(Ia)、聚硅氧烷(Ib)、重氮基萘醌衍生物以及溶剂，该聚硅氧烷(Ia)通过将由通式(1)：RSi(OR1)3表示的硅烷化合物和由通式(2)：Si(OR1)4表示的硅烷化合物在碱性催化剂的存在下水解...该专利属于AZ电子材料IP（日本）株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料IP（日本）株式会社授权不得商用。
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一种正型感光性硅氧烷组合物，其含有聚硅氧烷(Ia)、聚硅氧烷(Ib)、重氮基萘醌衍生物以及溶剂，该聚硅氧烷(Ia)通过将由通式(1)：RSi(OR1)3表示的硅烷化合物和由通式(2)：Si(OR1)4表示的硅烷化合物在碱性催化剂的存在下水解...