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本发明涉及一种用于太阳能电池的双层氮化硅减反射膜，包括：硅片，硅片上覆有第一膜体，在第一膜体上覆有第二膜体，第一膜体、第二膜体的材料为氮化硅，第一膜体的折射率高于第二膜体，其制备方法为：经清洁后的硅片在PECVD设备内部加热到工作温度并保持...
该专利属于上海超日太阳能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海超日太阳能科技股份有限公司授权不得商用。

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