下载高真空试验容器及采用该容器的介质放电试验装置的技术资料

文档序号:8625212

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本发明公开一种高真空介质放电装置,采用GM制冷机做冷源的高真空介质放电试验装置,包括高真空试验容器、GM制冷机、分子泵真空系统、触摸屏温控系统等,其中,GM制冷机的氦压缩机机组与分子泵、机械泵等集成在设备的下部,上部为真空容器及复合真空计、...
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