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带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器，包括硅基和双端固定石英音叉，硅基上的质量块通过两个挠性梁与硅基相连，硅基表面在挠性梁同侧刻蚀有槽，槽的两端分别与质量块挠性梁和温度隔离结构下方的腔体相连，温度隔离结构由固定座和支撑梁组成，双端固定石英...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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